Wieħed mill-klijenti tagħna tas-semikondutturi-OEM ibbażat fl-UE-li jispeċjalizza fil-litografija EUV-avviċinana bi sfida: biex niffabbrikaw-densità għoljapjanċa tat-tkessiħ tal-mikrokanalimagħmul minn aluminju 6061-T6. Il-komponent meħtieġ fuq1,200 mikro-toqba, kull wieħedØ 0.18 mm, b'aproporzjon tal-fond-mad--dijametru ta' 10:1, upreċiżjoni pożizzjonali taħt ± 5 μmtul il-wiċċ kollu tal-parti.
L-isfidi ewlenin kienu jinkludu:
Ksur tal-għoddaminħabba proporzjonijiet estremi tal-aspett
Żammastraightness toqbafuq fond twal tat-tħaffir
L-iżgurarevakwazzjoni taċ-ċippamingħajr ma jiġu deformati l-mikro-toqob
Prevenzjonidistorsjoni termaliwaqt it-tħaffir kontinwu
Biex nindirizzaw dawn, użajna:
Għodda speċjalizzata għall-mikro-drillb'kanali interni tal-likwidu li jkessaħ
Multi-passstrateġiji tat-tħaffir tal-peckb'kontroll ta' dwell u retraction
Ħwejjeġ-megħjuna ultrasonikubiex tiżgura t-tneħħija taċ-ċippa
Fil--proċessstabbilizzazzjoni termalibejn passes biex tikkontrolla l-espansjoni
Wara iterazzjonijiet u simulazzjonijiet multipli, implimentajna a2-pass tħaffir u reaming proċessli kisbu ġeometrija ta' toqba konsistenti u uċuħ ta' ġewwa ħielsa minn burr-. Spezzjoni ta' wara-magni bl-użu ta' a500 × mikroskopju diġitaliuCMM bi skanjar tas-sondaikkonfermat:
It-toqob kollha ġewwa±3 μmfaxxa ta' tolleranza
Ħruxija tal-wiċċ hawn taħtRa 0.2 μm
Devjazzjoni tal-ispazjar tat-toqba-per-fi ħdan±4 μmtul matriċi ta’ 150 mm × 150 mm
Il-komponent għadda testijiet ta 'tnixxija tal-elju, ittestjar tal-effiċjenza tat-trasferiment termali, u ġie aċċettat fil-bini pilota tal-klijent mingħajr xogħol mill-ġdid.
