Analiżi tal-oġġett tal-ipproċessar
Materjal: ħġieġ tal-kwarz ta 'grad ottiku
Karatteristiċi tal-ipproċessar: tħin tal-kontorn tal-wiċċ multi-(inklużi 3 aspetti asimmetriċi)
Dimensjonijiet ewlenin: 16 × 16 × 10mm (iżball ± 0.002mm)
Din il-priżma tal-kwarz, li hija biss id-daqs ta' dwiefer, hija l-element ta' gwida tad-dawl tal-qalba-tas-sistema ottika ta' magna tal-litografija domestika high-. It-8 uċuħ kkurvati kumplessi tagħha jeħtieġ li jiksbu 99.6% ta 'trasmittanza u preċiżjoni ta' rifrazzjoni tal-livell nanometru-, u l-ħruxija tal-wiċċ taffettwa direttament ir-riżoluzzjoni tal-espożizzjoni tal-magna tal-litografija.
Punti ta 'uġigħ fl-industrija u diffikultajiet tekniċi
Kumpanija tat-teknoloġija ottika ltaqgħet ma 'konġestjoni fl-ipproċessar tal-priżma tal-kwarz meta tippromwovi l-lokalizzazzjoni ta' magni tal-litografija:
Difetti tat-tħin tradizzjonali: Il-ħruxija wara l-illustrar manwali għadha tilħaq Sa 120nm, li tirriżulta f'telf ta 'tixrid tad-dawl ta' 15%
Dipendenza tat-tagħmir fuq l-importazzjonijiet: L-ispiża ta' grinder ta' preċiżjoni ultra-Ġappuniż wieħed taqbeż l-20 miljun wan, u l-perjodu tal-kunsinna huwa twil sa 18-il xahar
Kriżi tar-rendiment: 32 biss mill-ewwel lott ta '500 produzzjoni ta' prova ssodisfaw l-istandards, u tkaxkru serjament il-progress tal-proġett
Id-dilemma ta '"ma tistax taffordja tagħmir importat, u l-proċessi domestiċi mhumiex tajbin" imblukkat direttament il-proċess ta' żvilupp tal-magni tal-litografija indipendenti.
BISHENsoluzzjoni tas-soluzzjonijiet
Bi tweġiba għar-rekwiżiti ta 'preċiżjoni estrema tal-komponenti ottiċi, it-tim tekniku BISHEN żviluppa riċerka u żvilupp innovattivi:
1. Sistema ta 'proċessar ta' rabta vertikali ultrasoniku ta 'ħames-assi
2. 0.1μm-kumpens dinamiku ta' livell, kontroll preċiż ta' għodod tal-magni ta' rabta ta' 18-il assi
3. Tqabbil ta 'programmazzjoni intelliġenti CAD/CAM tal-wiċċ asimmetriku
4. Teknoloġija tat-tħin assistita ultrasoniku ta 'frekwenza għolja-
5. 40vibrazzjoni ultrasonika kHz tnaqqas 52% tal-istress tal-qtugħ u tevita mikroxquq tal-kwarz
6. Il-ħajja tar-rota tat-tħin tat-trab tal-mikro-djamant hija estiża bi 3 darbiet
Qabża attwali tal-prestazzjoni mkejla
Inkisbu tliet skoperti kbar fil-produzzjoni tal-massa ta 'ċertu tip ta' priżma domestika tal-magni tal-litografija:
1. Kwalità tal-wiċċ: Ħruxija Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Effiċjenza tal-ipproċessar: Il-ħinijiet tax-xogħol ta'-biċċa waħda huma kkompressati minn 14-il siegħa għal 3.5 siegħa
3.Kontroll tal-ispejjeż: L-investiment fit-tagħmir huwa biss 1/5 tas-soluzzjoni importata
Ir-rata ta 'rendiment tal-ewwel lott ta' 3,000 prodott qabżet għal 98.7%, u għenet lill-klijenti jlestu l-assemblaġġ ta 'prototipi 6 xhur qabel l-iskeda.
DwarBISHEN
BISHENPrecision Technology (imwaqqfa fl-2017) tiffoka fuq it-tkissir tat-teknoloġija ta '"bottleneck" fil-qasam tal-manifattura high-. Hija bniet fabbrika diġitali ta '7,500 metru kwadru f'Dongguan, mgħammra b'raggruppamenti ta' tagħmir importat bħal ċentri ta 'magni ta' konnessjoni ta 'ħames -assi u grinders ottiċi ta' preċiżjoni ultra-. Bl-applikazzjoni ta 'teknoloġiji innovattivi bħal makkinar ultrasoniku u qtugħ krijoġeniku għal tagħmir semikonduttur, strumenti optoelettroniċi u oqsma oħra, ipprovda soluzzjonijiet ta' pproċessar ta 'partijiet ewlenin għal aktar minn 20 kumpanija domestika tal-katina tal-industrija tal-magni tal-litografija, u wassal aktar minn 500,000 komponenti ottiċi ta' preċiżjoni.
