Fid-dinja tal-manifattura tat-tagħmir tas-semikondutturi,il-kwalità tal-wiċċ mhix biss dwar l-estetika-hid dwar il-funzjoni, il-lonġevità, u l-preċiżjoni. Komponenti bħal chucks tal-wejfers, muntaturi tal-lenti, u gwidi ta' preċiżjoni għandhom jissodisfaw mhux biss tolleranzi dimensjonali, iżda wkollrekwiżiti estremi tal-finitura tal-wiċċ, ħafna drabi hawn taħtRa 0.1 μm.
Għaliex In-Nanometru-Livell tal-Wiċċ Jikkonporta
Tagħmir semikonduttur ta' prestazzjoni għolja-jistrieħ ħafna fuq l-eżattezza tal-kuntatt u l-kompatibilità tal-kamra nadifa. Ħruxija tal-wiċċ li taqbeż il-limiti tan-nanometru tista':
Tfixkelpreċiżjoni tat-tqegħid tal-wejfer
Żiedafrizzjoni u xeddwaqt il-moviment
Kawżatifrix tas-sinjal ottiku, li jaffettwa l-fotolitografija
Oħloqnases tal-partiċelli, jiżdiedu r-riskji ta 'kontaminazzjoni
Per eżempju, aĊirku ta 'appoġġ tal-istadju tal-wejferbi ħruxija tal-wiċċ 'il fuq mill-ispeċifikazzjoni tista' tikkawża mikro-vibrazzjonijiet, tnaqqas l-eżattezza tal-pożizzjonament u rendiment degradanti.
L-Isfida tal-Maċinazzjoni CNC
Il-kisba ta 'finitura tal-wiċċ ta' Ra Inqas minn jew ugwali għal 0.1 μm tmur ferm lil hinn mill-proċessi CNC standard. Għodda u parametri tradizzjonali ħafna drabi jħallu warajhom mikro-grif, marki tal-magni, jew stress residwu-kollha mhux aċċettabbli f'ambjenti ta' semikondutturi.
L-Approċċ tagħna għall-Kwalità tal-Livell tan-Nanometru-
FlBISHEN Preċiżjoni, żviluppajna flussi tax-xogħol tal-magni speċifikament għal applikazzjonijiet sensittivi tal-wiċċ-:
Użu ta'għodda tal-karbur tal-qamħa ultra-finebi ġeometriji tad-dwana
Illustrar jgħaddiintegrati fil-mogħdijiet tal-għodda finali
Sistemi ta' kontroll tal-likwidu li jkessaħbiex tevita mikro-tiċrit ikkawżat mis-sħana
Koordinazzjoni maCMMs u interferometri ta'-dawl abjadbiex tivvalida l-ħruxija
Kull parti tgħaddi minn spezzjoni f'diversi-stadji mhux biss għal tolleranzi dimensjonali, iżda għalkonsistenza tal-wiċċ sub-mikronmadwar il-pjani ta’ kuntatt kollha.
Każ Reali: Mera-Pjanċi ta' Appoġġ tal-Wejfer lesti
Klijent kien jeħtieġ pjanċi tal-wejfer tal-aluminju b'finitura tal-wiċċ aħjar minnRa 0.05 μm, uniformi madwar l-apparat kollu. Bl-użu ta' tekniki ta' finitura ta'-veloċità għolja ottimizzati u strateġiji ta' illustrar apposta, ikkonsenjajna komponenti li qabżu l-ispeċifikazzjoni-lesti għall-assemblaġġ ta' kamra nadifa ta' livell EUV-.
Tħallix il-Finish tal-wiċċ Jidgħajjef is-Sistema Tiegħek
L-imperfezzjoni tal-wiċċ fin-nanoskala tista' tikkomprometti bil-kwiet l-iktar mekkaniżmi preċiżi tiegħek. Jekk l-applikazzjoni tiegħek titlobfinituri ta' grad-ottiku, jewprestazzjoni ta 'frizzjoni superjuri, kellem magħna. Aħna ser ngħinu biex niżguraw li l-partijiet tiegħek jissodisfaw it-tnejntolleranzautessut.
