Fil-qasam tal-manifattura tas-semikondutturi tat-tielet -ġenerazzjoni, trejs u chucks tal-wejfers tal-karbur tas-silikon saru komponenti ewlenin insostitwibbli minħabba r-reżistenza għall-korrużjoni tagħhom u l-konduttività termali għolja. Madankollu, il-punti ta 'uġigħ ta' l-industrija esposti matul l-ipproċessar tagħhom ilhom ibatu kumpaniji tal-manifattura ta 'preċiżjoni.
Każ Tipiku tal-Ipproċessar
Proġett ta 'pproċessar ta' chuck tal-wejfer tal-karbur tas-silikon li sar minn ċerta kumpanija jeħtieġ it-tlestija tat-tħin tal-istruttura tal-kavità u tal-kanal tal-biċċiet tax-xogħol D380x5mm. L-ebusija ta 'dan il-materjal tilħaq HV2,002, li hija qrib 1/3 tal-ebusija tad-djamant naturali. Problemi frekwenti ta 'kollass tat-tarf waqt l-ipproċessar irriżultaw f'rata ta' pass ta 'inqas minn 60%, u għodod tradizzjonali ġew skrappjati f'159 minuta, u l-ipproċessar ta' biċċa waħda ħa sa 888 minuta.
Punti ta 'uġigħ fl-ipproċessar tal-industrija
Il-materjali tas-SiC jiffaċċjaw tliet sfidi ewlenin fl-ipproċessar tradizzjonali minħabba l-ebusija u l-fraġilità għolja tagħhom:
Ir-rata tat-tixlif tat-truf tal-biċċa tax-xogħol hija aktar minn 35%
Ir-rata tal-ilbies tal-għodda hija 3-5 darbiet ogħla minn dik ta 'materjali konvenzjonali
L-eżattezza tal-kontroll tal-ħruxija tal-wiċċ ta '±0.5μm hija diffiċli biex tinżamm b'mod stabbli
BISHENprattika ta' innovazzjoni ta' soluzzjonijiet
Bi tweġiba għall-ħtiġijiet speċjali tal-ipproċessar tal-karbur tas-silikon, it-tim tekniku BISHEN implimenta innovazzjoni tal-proċess ta' tliet-stadji:
• L-introduzzjoni ta 'sistema ta' proċessar assistita bil-vibrazzjoni ultrasonika ta '20kHz
• Ippersonalizzar PCD micro-blade tħin cutter (tarf R angolu 0.02mm)
• L-iżvilupp ta 'algoritmu ta' aġġustament dinamiku adattiv għall-parametri tat-tqattigħ
Ipproċessa r-riżultati tal-aġġornament
Id-dejta tal-produzzjoni wara t-trasformazzjoni tat-tagħmir turi:
1. Ir-rata tat-tixlif niżlet għal inqas minn 8%
2.Il-ħin tal-ipproċessar ta 'biċċa waħda ġie ottimizzat għal 462 minuta
3.Il-ħajja tal-għodda qabżet it-317-il minuta
4.Il-ħruxija tal-wiċċ hija kkontrollata b'mod stabbli f'Ra0.4μm
