Fl-industrija tas-semikondutturi,preċiżjoni fil-livell-mikronmhix lussu-hija linja bażi. Komponenti użati fisistemi tal-immaniġġjar tal-wejfers, Kmamar tal-inċiżjoni, ugħodod tal-fotolitografijajeħtieġutolleranzi dimensjonaliħafna drabi taħt il-5 mikroni. Metodi tradizzjonali tal-magni CNC jitħabtu biex jissodisfaw tali talbiet mingħajr kontroll tal-proċess speċjalizzat u metroloġija.
L-Isfida: Meta l-Microns Jgħoddu
B'differenza mill-partijiet industrijali konvenzjonali, il-komponenti semikondutturi għandhom:
Żommflatness estrema u paralleliżmu
Haveallinjament preċiż tat-toqob u żift
Tiżguradifetti minimi fil-wiċċli jista' jkollu impatt fuq il-vakwu jew il-prestazzjoni ottika
Anke l-iċken devjazzjoni tista’ twassal għal:
Allinjament ħażin waqt it-trasferiment tal-wejfer
Telf ta' preċiżjoni fil-projezzjoni tal-fotomask
Telf ta' rendiment minħabba kontaminazzjoni jew drift ġeometriku
Eżempju tad-Dinja-Reali: Gwarniċi tal-Għodda tal-Litografija
Fi proġett wieħed li jinvolvi aqafas tal-liga tal-aluminju ħafifgħal sistema fotolitografika,sotto-5 μm tolleranzakien meħtieġ fuq l-uċuħ tal-immuntar biex jiġi żguratallinjament perfett overlaytal-mudelli taċ-ċippa.
Biex niksbu dan, applikajna:
Makkinar CNC ta '5 assi b'kumpens termali
-Vibrazzjoni baxxa, kontroll tal-magħżel b'veloċità-għola
Probing dimensjonali ta'-ħin reali u loops ta' feedback
Mingħajr tali preċiżjoni, sempliċi bidla ta '10 μm tista' tgħawweġ l-allinjament tal-maskra u tnaqqas ir-rendiment taċ-ċippa-li jiswa lill-klijent waqfien sinifikanti u telf ta 'materjal.
Il-Proċess tagħna fuqBISHEN Preċiżjoni
Aħna naqdu OEMs semikondutturi bi:
Tħin u tidwir CNC ultra-preċiżi (ripetibbiltà ta' ±2~5μm)
Ra Inqas minn jew ugwali għal 0.2μm irfinar tal-wiċċgħal siġillar kritiku jew żoni ottiċi
Ippakkjar kompatibbli għall-kamra nadifa-
Spezzjoni tal-iskannjar tas-CMM u bil-lejżer b'rapporti traċċabbli
It-tim tagħna jifhem il-kritika ta’ kull mikron-u jappoġġaha b'esperjenza fis-servizz kemm ta' R&D kif ukoll ta' ambjenti ta' produzzjoni ta'-taħlita ta' volum baxx-għoli.
Għaliex Jgħodd
Fil-manifattura tas-semikondutturi, il-ġeometrija hija kollox. Kwalunkwe distorsjoni, allinjament ħażin, jew burr jistgħu jirriżultaw fi:
Distorsjoni tal-mudell
Żbalji fl-immaniġġjar tal-wejfers
Falliment tas-sistema tal-vakwu
Makkinar ta' preċiżjoni mhuwiex biss dwar tolleranzi stretti-jiswa dwar l-iżgurar tal-funzjonalità u affidabbiltàta' tagħmir ta' produzzjoni ta' ċippa tal-{0}}ġenerazzjoni li jmiss.
