Fil-qasam tal-manifattura tat-tagħmir tas-semikondutturi, iċ-ċrieki tal-bieb Polysilicon huma komponenti ewlenin fil-proċess tal-manifattura taċ-ċippa. Meta tippromwovi l-lokalizzazzjoni tal-komponenti tal-qalba, manifattur domestiku tat-tagħmir tas-semikondutturi ltaqa 'ma' problema ta 'proċessar diffiċli - kien meħtieġ li tlestiet il-kontorn ta' preċiżjoni għolja u l-ipproċessar tal-kanal fuq ċrieki tal-polysilicon b'dijametru ta '290mm u ħxuna ta' 45mm, u l-proċessi tradizzjonali kienu diffiċli biex jiltaqgħu mal-ħtiġijiet ta 'produzzjoni tal-massa.
L-isfond tal-ipproċessar u l-punti ta 'uġigħ fl-industrija
A. Proċessar ta 'Sfond
Minħabba l-proprjetajiet tas-semikondutturi eċċellenti tiegħu, il-polysilicon huwa użat ħafna f'partijiet strutturali ta 'tagħmir bħal impjanti tal-joni u etchers. Komponenti bħal dawn għandhom bżonn jneħħu aktar minn 7 0% tal-materjal permezz ta 'proċessi ta' tħin multipli, filwaqt li jiżguraw li r-roundness tal-kontorn ta 'ġewwa huwa inqas minn jew daqs {0. 005mm u t-tolleranza tal-wisa' tal-kanal hija ± 0.01mm, li tpoġġi rekwiżiti stretti dwar l-istabbiltà tat-tagħmir tal-ipproċessar u l-għodda tal-ħajja.
B. Dilemma ta 'proċessar tradizzjonali
1. Il-magni tat-tħin tradizzjonali għandhom effiċjenza baxxa fl-ipproċessar, u biċċa waħda tieħu aktar minn 8 sigħat
2. Ir-rata ta 'laqx waqt l-ipproċessar ta' slot hija għolja daqs 35%, li tirriżulta fi skrapping tal-lott
3
Soluzzjonijiet Bishen: Teknoloġija ultrasonika + operazzjoni kollaborattiva ta 'veloċità għolja
Fid-dawl tal-karatteristiċi tal-ipproċessar ta 'materjali iebsa u fraġli tal-polysilicon, it-tim tekniku Bishen apposta għal soluzzjoni ta' tlieta f'wieħed:
1. Sistema ta 'inċiżjoni u tħin ta' preċiżjoni ultrasoniku: Vibrazzjoni ta 'frekwenza għolja 20kHz tnaqqas ir-reżistenza għall-qtugħ b'50%
2. DDR Vertical Turntable ta 'Veloċità Għolja: 3000rpm ± 1 ″ preċiżjoni, li tinkiseb kontroll tat-trajettorja fil-livell nano
3. Soluzzjoni tal-Għodda Kompost tal-Gradjent:
Għodod miksija bid-djamanti jintużaw għat-tneħħija mgħaġġla tal-materjal waqt l-ipproċessar mhux maħdum
L-għodod ultrasoniċi tal-PCD jinbidlu għall-ipproċessar fin
Dejta mkejla tiffriska l-punt ta ’riferiment tal-industrija
Fil-verifika tal-linja tal-produzzjoni tal-klijent, is-soluzzjoni Bishen kisbet:
L-effiċjenza tal-ipproċessar żdiedet bi 2.8 darbiet, u l-ħin tal-ipproċessar ta 'biċċa waħda kien ikkompressat għal 2.8 sigħat
Ir-rata ta 'laqx tas-slot tnaqqset minn 35% għal 0. 5% jew inqas
Ir-roundness taċ-ċirku ta 'ġewwa huwa kkontrollat b'mod stabbli f' 0. 003-0. 005mm
Il-ħruxija tal-wiċċ RA inqas minn jew daqs 0. 4μm, li huwa aħjar mil-livell tal-ipproċessar tat-tagħmir importat
Dan l-avvanz żied ir-rata ta 'kwalifika tal-produzzjoni tal-massa tal-Polysilicon Gate taċ-ċrieki minn 61% għal 98.7%, billi ħa post b'suċċess partijiet importati.
AboutBishen
BishenKien involut profondament fil-qasam tal-manifattura ta 'preċiżjoni għal aktar minn għaxar snin, u ffoka fuq is-soluzzjoni ta' problemi ta 'pproċessar ta' l-għonq "fl-għonq" fis-semikondutturi, fotovoltajċi u industriji oħra. Is-7,500 metru kwadru tal-kumpanija ta 'Smart Factory huwa mgħammar b'moduli tat-teknoloġija ewlenin bħalma huma l-ipproċessar assistit ultrasoniku u l-konnessjoni ta' ħames assi. Ipprovda soluzzjonijiet ewlenin tal-ipproċessar tal-partijiet għal aktar minn 20 manifatturi domestiċi tat-tagħmir tas-semikondutturi. It-teknoloġiji rilevanti għaddew Ċertifikazzjoni Speċjali ISO9001 u Semikondutturi, u jkomplu jgħinu l-proċess ta 'indipendenza ta' tagħmir tal-manifattura high-end.
