Studju ta 'każ: Breakthrough fl-ipproċessar tas-sottostrat tal-ħġieġ tal-kwarz
Oġġett tal-ipproċessar: substrat tal-ħġieġ tal-kwarz għall-fotolitografija
Speċifikazzjonijiet:
Materjal: 99.99% ħġieġ tal-kwarz ta' purità għolja-
Karatteristiċi tal-ipproċessar: ċanfrin C0.2 b'żewġ -ġenb + ħajt tal-ġenb vertikali
Rekwiżiti tal-wiċċ: Ra < 150nm (grad tal-mera)
Dimensjonijiet: 145 × 145 × 5.5mm±0.01mm
Analiżi tal-punti tal-uġigħ tal-ipproċessar tal-industrija
Bħala l-konsumabbli tal-qalba tat-tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi, il-partijiet tal-kwarz għall-fotolitografija jeħtieġ li jissodisfaw tliet standards stretti fl-istess ħin: trażmissjoni materjali > 99.6%, tolleranza dimensjonali ± 10μm, u ħruxija tal-ħajt tal-ġenb Ra < 150nm. Il-metodu ta 'pproċessar tradizzjonali juża proċess tat-tħin tar-rota tat-tħin, li għandu żewġ problemi ewlenin tal-industrija:
Konġestjoni fl-effiċjenza: l-ipproċessar ta'-biċċa waħda jieħu sa 120 minuta
Difetti fil-wiċċ: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Telf tal-għodda: il-ħajja tal-għodda ordinarja hija inqas minn 50 biċċa
BISHENsoluzzjonijiet innovazzjoni tat-teknoloġija
Fid-dawl tal-karatteristiċi iebsa u fraġli tal-materjali tal-kwarz, kompostsoluzzjoni għall-ipproċessarhija adottata:
• Sistema ta 'inċiżjoni u tħin ta' preċiżjoni ultrasonika ta '20kHz
• Integral PCD mikro-blade tħin cutter (tarf R0.05mm)
• Proċess ta 'qtugħ f'saffi assjali (2μm kull saff)
Tqabbil tal-vantaġġi tal-ipproċessar imkejla
Permezz tal-verifika u t-tqabbil tal-proċess, l-indikaturi ewlenin ġew imtejba b’mod sinifikanti:
Valur tal-Applikazzjoni tal-Industrija
Din is-soluzzjoni ssolviet b'suċċess il-problema tal-ipproċessar tal-"konġestjoni" fil-proċess ta 'lokalizzazzjoni tal-partijiet tal-magni tal-litografija, żiedet il-kapaċità tal-produzzjoni tas-sottostrat tal-kwarz minn 10 biċċiet kuljum għal 50 biċċa, u r-rata ta' kwalifika tal-ipproċessar minn 63% għal 98.5%. Skont l-iskoperta tal-interferometru tal-lejżer Zeiss, il-valur PV tal-preċiżjoni tal-wiċċ tal-ipproċessar huwa<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
DwarBISHEN
Preċiżjoni Bishentispeċjalizza fl-ipproċessar ta 'partijiet ta' ħardwer ta 'preċiżjoni, b'7,500 metru kwadru ta' workshops standardizzati, u s-servizzi tagħha jkopru aerospazjali, tagħmir mediku, robots industrijali u oqsma oħra. Bil-kapaċità li tipproċessa partijiet strutturali kumplessi u ċ-ċertifikazzjoni tas-sistema ISO, tipprovdi lill-klijenti b'soluzzjonijiet ta' proċess-sħaħ mid-disinn u l-iżvilupp sal-produzzjoni tal-massa.
